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第308章 给光刻机装“眼睛”(第4页)

从来没有人走过来摸一把导轨。

然后告诉他,这台机器的底子是好的。

直播间的弹幕也在此刻快速滚动起来:

【懂行的来了!自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”,放得越久越值钱!】

【林总之前造砥柱机床,底座用的泉城青花岗岩,也是同样的道理,追求极致的形变稳定性。】

【所以这台光刻机的机械底座,反而因为放了四年,变成了最完美的状态?】

【废铁?这是宝贝!被你们当废铁扔了四年的宝贝!】

陈默的嘴唇哆嗦了好几下。

“你是说……这台机器,还能用?”

“不是还能用。”

林希收回手指,把沾着油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭,

“是它从来就没坏过。”

他绕着GK-3走了一圈。

军大衣被掀开大半,露出主光路系统的铸铝外壳。

汞灯光源的接口擦得锃亮,连螺纹里都没有积灰。

“陈师傅。”

“这台机器当年下马,不是因为光学系统不行。”

林希停在XY工作台前。

用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。

“是因为这个。”

陈默一愣。

“套刻对准。”

林希蹲下去。

指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构,

“纯机械传动,没有位置反馈。”

“丝杠转一圈,理论行程是0。5毫米。”

“但实际上,蜗轮齿面磨损不均匀。”

“每转一圈的真实位移都不一样。”

他站起来,拍了拍手上的灰。

“套刻精度要求正负5微米。”

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