“套刻精度要求正负5微米。”
“这套机械传动的累积误差,最大能到8微米。”
“所以第二层图形永远对不准第一层。”
“废片率超过六成。”
陈默的身体晃了一下。
他当然知道。
这个问题困扰了整个109会战团队两年。
他师傅为了解决这个死区。
在显微镜前连续坐了七十二个小时。
左眼的视网膜就是那时候脱落的。
最后也没解决。
林希从公文包里抽出一张图纸,展开铺在行军床上。
图纸上画着一套改造方案。
XY工作台两侧,各加装一条光栅尺。
光栅尺的信号接入一块数字控制板。
控制板驱动两台微型伺服电机。
替换原有的手摇蜗轮。
“红星和长光所联合自研自产的光栅尺,分辨率1微米。”
林希用笔尖点着图纸,
“配合闭环伺服控制。”
“丝杠的累积误差,在每个采样周期内实时补偿。”
他看向陈默。
“你的机器什么都好。”
“光学系统是王老定的方案。”
“底座经过四年自然时效,主光路没跑偏。”
“它就差一双眼睛。”
“现在,我把眼睛给它装上。”