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第308章 给光刻机装“眼睛”(第5页)

“套刻精度要求正负5微米。”

“这套机械传动的累积误差,最大能到8微米。”

“所以第二层图形永远对不准第一层。”

“废片率超过六成。”

陈默的身体晃了一下。

他当然知道。

这个问题困扰了整个109会战团队两年。

他师傅为了解决这个死区。

在显微镜前连续坐了七十二个小时。

左眼的视网膜就是那时候脱落的。

最后也没解决。

林希从公文包里抽出一张图纸,展开铺在行军床上。

图纸上画着一套改造方案。

XY工作台两侧,各加装一条光栅尺。

光栅尺的信号接入一块数字控制板。

控制板驱动两台微型伺服电机。

替换原有的手摇蜗轮。

“红星和长光所联合自研自产的光栅尺,分辨率1微米。”

林希用笔尖点着图纸,

“配合闭环伺服控制。”

“丝杠的累积误差,在每个采样周期内实时补偿。”

他看向陈默。

“你的机器什么都好。”

“光学系统是王老定的方案。”

“底座经过四年自然时效,主光路没跑偏。”

“它就差一双眼睛。”

“现在,我把眼睛给它装上。”

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