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第440章 光波没有摩擦力（第1页）

四月中旬，吉省长光所。

地下实验室的无尘室外，王老的团队已经连轴转了两天两夜。

玻璃窗内，一组从樱花国弄回来的日产光学物镜被拆成了几十个编号部件。

镜片、隔圈、压环、镀膜样片，全都铺在防静电垫上。

每一个动作都慢得要命。

因为这玩意儿不是普通镜头。

它关系到光刻机能不能从现有水平，往1。5微米制程上再迈一步。

林希站在玻璃窗外，看着里面的进度。

这时，江俊拿着一份资料册快步走了过来。

“林经理。”

他的声音比三年前稳了太多。

三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥着女儿的病历。

现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。

“光刻机要升级到1。5微米制程，光有镜头不够。”

江俊翻开工艺资料册，指着设计图上的对齐位。

“1。5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”

他手指敲了敲图纸。

“也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级别的微小位移。”

江俊合上资料，语气很沉。

“三年前搞出来的1微米精度光栅尺，已经不够用了。”

林希点了点头。

他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死芯片制程的物理天堑。

你连工作台挪了多少都量不准，还谈什么套刻？

芯片不是靠热血喊出来的。

每一道线，都得用精度咬出来。

“跟我来。”

江俊没多解释，转身就走。

林希跟着他推开走廊尽头一间独立实验室的门。

屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。