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第443章 1.5微米缝合怪光刻机苏醒（第4页）

魏国栋改的那台丑陋射频发生器，发出一声闷响。

指示灯由红转绿。

高压激发下，内部汞灯点燃。

一道惨白刺眼的强光，从机头射出，穿过长光所的物镜组，落在碳纤维工作台的中心点上。

光斑极亮。

边缘锐得像刀裁过。

那片9N级裸硅片，泛起幽幽的紫色反光。

“光源稳定！”

技术员盯着仪表，嗓子都喊劈了。

“中心照度偏差小于0。5%！”

伺服电机咬合。

碳纤维台面开始微动。

江俊死死盯着激光干涉仪的仪表盘。

屏幕上绿色数字跳了几下，很快稳住。

读数精确到小数点后三位。

“激光锁相完成！”

“XY轴反馈正常！”

陈默盯着汇总屏幕。

数据刷了一遍。

第二遍。

第三遍。

每一盏绿灯亮起，都代表一个卡脖子的技术，被硬生生蹚平。

背后是实验室没合眼的夜，是工厂压箱底的手艺，也是老专家拿身体熬出来的答案。

“温度达标。”

“负压环境达标。”

“气路正常。”

“电源正常。”