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第443章 1.5微米缝合怪光刻机苏醒（第1页）

镜头和光刻胶的问题解决，剩下的拼图在现场迅速合拢。

最底下，是一块长三米、宽两米、厚度达到八十公分的“泉城青”花岗岩底座。

泉城一机厂厂长崔玉山亲自押车送来。

他用红星厂的高精度机床，给这块沉睡了五亿年的石头做了微米级平面研磨。

平整度，硬生生压到三个微米以内。

崔玉山拍着石头，只说了一句话：

“给你们垫脚，够稳。”

外面哪怕有重卡驶过，传到台面上的震动，也被压到近乎没有。

底座上方，是海卫厂陈广威送来的工作台。

他们没用传统铸铁，而是用了实验室专门制备的高模量碳纤维管材做蜂窝骨架，再覆多层环氧树脂。

两个搬运工轻轻松松就把它抬进了车间。

旁边老师傅看得直咂舌。

“这玩意儿，比我家饭桌还轻。”

重量只有原来的五分之一。

可在直线电机驱动下，加速度直接翻倍，刚性还强。

停下来的时候，几乎没有惯性余震。

江俊带着团队，将那台CQ-1型双频氦氖激光干涉仪挂到碳纤维工作台侧面。

红光一闪。

一束细得几乎看不见的激光穿过导轨。

电子探测器上的数字死死咬住。

15纳米位移分辨率。

接着，东都单晶硅厂送来的9N级高纯度硅片，从充氮密封盒里取了出来。

十亿个硅原子里，只允许混进一个杂质。

长安771所刚调校完的离子注入机，也送进了车间。

慢是慢。

但刚好卡在1。5微米工艺门槛线上。

还有红星特制飞轮发电机组。