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第331章 流片成功！（第4页）

王铁山沉默了几秒，走到机器后面。

蹲下去看了看分子泵的参数铭牌。

“能拉到。”

他直起腰，

“负5次方没问题，就是没人敢这么用。”

“那就用。”林希说。

王铁山没再犹豫。

他抱着扳手绕到机器背面，拧开旁通阀。

苏佩兰深吸一口气，坐回操作台。

束流电流：10mA。

加速电压：50keV。

真空度读数开始往下掉。

10的负3次方。

负4次方。

分子泵的声音变得尖锐。

负5次方。

稳住了。

“注入。”林希说。

苏佩兰按下启动键。

机器轰鸣声骤然变调，像一头沉睡的野兽被唤醒。

离子束击中硅片表面。

六十秒。

一百二十秒。

注入结束。

苏佩兰取出硅片，双手端着，走到显微镜前。

车间里所有人的呼吸都停了。

她把硅片放上载物台，调焦。

看了三秒。

又调了一下倍率。

再看了五秒。

她抬起头。