陈默愣了一下。
“应该有,刻蚀用的辅料里好像见过。”
“去拿,分析纯的就行。”
“再找一个水浴锅。”
“温度计要水银的,精度高。”
四十分钟后。
刻蚀槽外面套上了一圈水浴。
水浴锅里插着温度计,红色水银柱稳稳停在35度刻度线上。
槽液换成了新配的BOE。
林希亲手把第十八片硅片放进去。
酸液表面冒出细密的小气泡。
计时。
三分四十秒。
取出,纯水冲洗,氮气吹干。
推到显微镜下。
江俊把眼睛贴上目镜。
车间里所有人都停下了手上的动作。
五秒。
十秒。
江俊直起腰。
他的手搭在调焦旋钮上,没松开。
声音发飘。
“沟槽边缘……极其平滑。”
“没有侧向钻蚀。”
他咽了一下。
“实测线宽。。。。。。”
“4。7微米。”
车间里没有欢呼。
安静得能听见水浴锅里水在微翻滚的声音。
陈默从墙角站起来。