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第309章 手测参数注入数控大脑（第4页）

屏幕上，一条绿色的曲线缓缓展开。

平直。

偶尔有微小的波动，但伺服电机在零点几秒内就把它拉回来。

“全行程定位精度，”

江俊盯着数据，声音有点发紧，

“正负3微米。”

陈默靠在机器旁边，慢慢滑坐到地上。

他没哭。

他笑了。

笑着笑着，把脸埋进膝盖里。

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光刻机活了。

但活过来只是第一关。

三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。

刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。

酸液配方按照教科书上的标准比例调配。

第一片硅片放进去。

计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。

江俊看了一眼，脸色变了。

“侧蚀太严重。”

他让开目镜，林希凑上去看。

5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。

剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。

换配方，提高酸液浓度。

第二片，断线更多。

降低浓度，缩短时间。

第三片，沟槽底部没刻透。

连续三个通宵。

十七种配方。